科学技術の発展に伴いＩＴ・半導体・電子機器・計測器・医療関係といった分野でナノテクノロジー（ナノテク）の必要性が挙げられている。現代の科学技術は、目覚しく進歩している。携帯電話・コンピューター・カメラといった身近な物が、どんどん小型化し数年が過ぎれば、もっと小型の機器が産まれると思われる。しかし近年になって現在の微細加工技術では、デバイスの小型化を進めていくと、近い将来限界に達することがわかってきた。これは、現在の微細加工技術が基板に光を当てて回路に焼き付ける技術（例 レーザープリンタ・光磁気ディスク）であるため、光の波長の幅より細かく描けないためである。そこでナノメートル（10億分の１メートル：ｎｍ）サイズのデバイスを開発に向けた新しい微細加工技術の開発が近年活発に行われている。これからの時代を担う新しい加工技術として原子・分子を自己組織化させて配線や回路を作ることを目指して、アニ−ルによるシリコンナノワイヤーの作製を目指し研究を行った。一般的な半導体材料の一つであるシリコンによるナノワイヤーを作ることは、今後の半導体産業に普及しやすいと考えたからである。本論文は、ワイヤーを作るのに必要となるであろう実験装置と既存の研究およびパラメーター依存性の実験と解析をについてまとめたものである。
ＴＶのニュースを見ていてもナノテクノロジーの話題が出るようになってきた。ナノテクの扱う大きさは、主に原子を使うのであり、我々の世界の百万分の一から十億分の一のスケールの話で、この世界では、我々が日々目にしている常識が、しばしば通用しないことが多い。例えば、ナノメートルの世界では、量子論が必要である。仮に電子が、ナノメートルスケールで見ると、電子が粒子に見えるときもあれば、波にも見える現象が起きてくる。電子の波動性・粒子性というが、このためどこに電子があるのかは、確率でしか解らない。電子のエネルギーは、光と同じで波長が長ければ長いほど低くなる。しかも電子の波も空間の大きさが決まると、それに応じたとびとびの波長を持つようになり、よってエネルギーもとびとびとなる。したがって電子が量子化されることと、電子が波であることはまったく同じことである。このようにナノメートルの世界では、特異な性質を持つことが知られています。
さてナノメートルでは、不思議な現象が起こっています。サイズだけでみても物凄く小さいの同じ面積ならばサイズが小さければたくさん書き込めることがわかります。また電子一個で動くデバイスといったものもできるでしょう。でも超えないといけない課題は、たくさんあります。そんなに簡単には、上手く行きません。現在の状況を、次の回でお話します。
